术语 | planar process |
释义 | planar process 平面工艺 A basic part of the technology used for silicon transistors. It is comprised of five independent processes: epitaxy, surface passivation, photolithography, diffusion, and thinfilm deposition. 用于硅晶体管制造过程中的一种基本工艺(部份),由外延、表面钝化、光刻、扩散和薄膜沉积五种独立加工工序组成。 |
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