术语 | double diffusion |
释义 | double diffusion 双扩散 A semiconductor manufacturing process in which diffusion doping is used on both the substrate and an epitaxial layer. 一种半导体制作工艺,在这种工艺的过程中,扩散掺杂即用在衬底上又用在外延层上。 参阅diffusion。 |
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